Đĩa lọc chân không bằng gốm

Ứng dụng:

Đĩa lọc chân không bằng gốm được cải tiến với gốm sứ bán dẫn và alumina ceramic, đảm bảo khả năng hút mạnh mẽ, độ ổn định cao đem lại độ bền vượt trội. Được sử dụng làm bàn làm việc (đồ gá cố định) trong ngành công nghiệp bán dẫn trong các quy trình như mài mỏng, định hình, cắt lát, mài, và làm sạch wafer.

Thông qua quá trình nung ở nhiệt độ cao, bên trong vật liệu hình thành các cấu trúc gốm rắn hoặc chân không với các lỗ liên kết hoặc khép kín đồng đều. Các cấu trúc này sử dụng lực hút chân không để cố định wafer bán dẫn hoặc các vật gia công khác.

Vật liệu

Bề mặt làm việc: Làm từ gốm alumina với cấu trúc rỗng bên trong. Áp dụng áp suất âm lên bề mặt để hút và cố định vật gia công.

Đế và khung: Các tùy chọn vật liệu bao gồm hợp kim nhôm, thép không gỉ, hoặc gốm.

Ưu điểm

• Độ cứng cao
• Tản nhiệt nhanh
• Khả năng chống mài mòn vượt trội
• Chống axit, kiềm và ăn mòn tốt, phù hợp với các môi trường khắc nghiệt.

Thông số sản phẩm cơ bản

• Đĩa lọc chân không bằng gốm có độ phẳng và độ song song cao, các lỗ nhỏ phân bố đều, độ thông khí tốt, lực hút đồng đều, bề mặt mịn và tinh tế.
• Đối tượng xử lý: Wafer 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12 inch và các wafer phi tiêu chuẩn tùy chỉnh.
• Phạm vi kích thước sản phẩm: 85mm-8800mm, kích thước lỗ vi xốp: 20-60μm, độ xốp: 30-50%.
• Có thể thiết kế và sản xuất bàn hút phi tiêu chuẩn theo yêu cầu của khách hàng.

>>> Xem thêm: Gốm sứ bán dẫn