Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn

Tên sản phẩm: Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn

Độ tinh khiết vật liệu: 99.7%, 99.8%, 99.9% oxit nhôm

Phương pháp gia công: Ép đẳng tĩnh, nung kết, gia công chính xác, v.v.

Kích thước:

• Đường kính đĩa: trong phạm vi φ650mm
• Thanh dài: tối đa 2000mm

Độ chính xác:

• Dung sai kích thước: ±0.01mm
• Độ phẳng tối đa: 0.002mm

Độ nhám bề mặt: Ra0.2

Ứng dụng: Bộ phận cấu trúc buồn dẫn được làm từ gốm sứ bán dẫn và alumina ceramic được ứng dụng trong các bộ phận quan trọng trong buồng PVD, CVD, ETCH của quy trình bán dẫn

Ưu điểm của Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn:

• Khả năng chống ăn mòn
• Hiệu suất cách điện tuyệt vời
• Khả năng chống plasma

>>> Xem thêm: Gốm sứ bán dẫn