Cấu hình chính của máy Wafer Sorter STK-3300 tự động:
- Robot hai cánh tay: 1 bộ (có thể tùy chỉnh với các mô hình robot khác nhau theo yêu cầu)
- Cổng tải (Loadport): 2 bộ (tương thích với FOUP, FOSB)
- Hệ thống lọc gió FFU: 1 bộ
- Bộ khử tĩnh điện (Ionizer): 1 bộ
- Bộ căn chỉnh (Aligner): 1 bộ
- OCR: 1 bộ
Hiệu suất chính của máy Wafer Sorter STK-3300:
- UPH (sản lượng mỗi giờ): ≥200 wafer
- MTBF (thời gian giữa các lần hỏng hóc): >1000 giờ
- MTTR (thời gian sửa chữa trung bình): <1 giờ
- Thời gian hoạt động: ≥99%
Thông số kỹ thuật của máy Wafer Sorter STK-3300:
- Đường kính wafer: 12 inch
- Độ dày wafer: 500 ~ 775 micron
- Loại wafer: Silicon
- Loại giá đỡ: FOUP, FOSB tiêu chuẩn 12 inch
- Độ chính xác của robot: ±0.1mm
- Độ chính xác của bộ căn chỉnh: ±0.1mm; ±0.1°
- Kiểm soát tĩnh điện: Thanh khử tĩnh điện
- Bộ điều khiển: Máy tính công nghiệp có màn hình cảm ứng 17 inch
- Bảo vệ an toàn: Cảm biến khóa cửa và nút dừng khẩn cấp/Thanh an toàn (tùy chọn)
- Điện áp: 220V AC một pha, 20A
- Khí nén: Khí nén sạch và khô 5 kg, lưu lượng 100 lít/phút
- Vỏ máy: Vỏ kim loại sơn tĩnh điện màu trắng
- Kích thước: 1360mm (rộng) x 1800mm (sâu) x 2000mm (cao)
- Trọng lượng: Khoảng 800kg
>>> Xem thêm: Danh sách Thiết bị bán dẫn
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.